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訂貨量(臺(tái))
價(jià)格(不含稅)
1
10000.00元/
供應(yīng)標(biāo)題:原裝日本新科隆鍍膜機(jī)
價(jià)格:電儀
發(fā)布公司:東莞市宏誠(chéng)光學(xué)制品有限公司
供貨總量:10
聯(lián)系人:楊小姐
發(fā)貨地點(diǎn):廣東 東莞 東莞市
發(fā)布時(shí)間:2021年04月28日
有效期至:2021年10月29日
在線詢盤(pán):在線詢盤(pán)
產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量:未計(jì)算
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一、系統(tǒng)構(gòu)成
基板取付:旋轉(zhuǎn)式立式傘架
光學(xué)式膜厚計(jì):選購(gòu)件
水晶式膜厚計(jì):無(wú)
電腦系統(tǒng):SSC-1
RAS機(jī)構(gòu):濺射源+氧化反應(yīng)源
旋轉(zhuǎn)負(fù)較;選購(gòu)件
追加目標(biāo):選購(gòu)件(真空室1專項(xiàng)使用、僅1枚)
高真空排氣系統(tǒng):選購(gòu)件(僅真空室1)
二、設(shè)備性能
排氣時(shí)間(成膜室)達(dá)到1*10-3Pa不超過(guò)30分鐘(測(cè)量條件按本公司標(biāo)準(zhǔn))
排氣時(shí)間(前室)從大氣壓到7Pa不超過(guò)7分鐘(測(cè)量條件按本公司標(biāo)準(zhǔn))
較限真空壓:不超過(guò)1*10-4Pa
基片加熱溫度:不加熱
膜厚分布:CV(變動(dòng)系數(shù))=不超過(guò)0.5%(按本公司標(biāo)準(zhǔn)發(fā)貨基準(zhǔn))
三、安裝條件
所需電力:三相 200V±10% 約68KW(zui大電力)
所需冷卻水:約140L/min、18~24℃(標(biāo)準(zhǔn)20℃)
所需壓縮空氣:不低于0.5MPa(zui高0.7MPa)
安裝面積:W4300mm*D6300mm*H2700mm,頂棚高度不低于3000mm
總重量:約9000kg
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