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供應(yīng)標題:HYDAC賀德克ENS3116-3-0520-000-K液位傳感器
價格:電儀
發(fā)布公司:廈門圣企機電設(shè)備有限公司
供貨總量:3600
聯(lián)系人:
發(fā)貨地點:福建 廈門 海滄區(qū)
發(fā)布時間:2024年08月29日
有效期至:2024年10月28日
在線詢盤:在線詢盤
產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量:未計算
性能:玻璃五金配件,玻璃機械配件等
用途:適應(yīng)范圍非常廣泛,主要為玻璃生產(chǎn)設(shè)備等
英文名:Glass Hardware
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壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一
組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力
成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。下面小編給大家介紹一下“壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理圖工作過程及特點”
壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)
壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。?
硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片定域擴散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對于膜片中心對稱。?
此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。
壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件,擴散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。
當基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時,各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。?用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感?材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用為普遍。
賀德克HYDAC壓力傳感器EDS 344-2-016-000
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