應(yīng)用

AST聚昌科技PEVA系列高階*密電子束蒸鍍系統(tǒng)乃是針對(duì)Power IC ( Ti /Ni/Ag )、LED (Cr/Pt/Au ) 及MEMS等之金屬電極、透明導(dǎo)電膜(ITO)與光學(xué)膜( SiO2/TiO2)所設(shè)計(jì)的批式量產(chǎn)設(shè)備，擁有獨(dú)特的蒸鍍反應(yīng)室設(shè)計(jì)，可以提供更高的產(chǎn)能，與更為精準(zhǔn)、更可靠的製程需求。

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特點(diǎn)

AST聚昌科技Peva-900E/I系統(tǒng)的特點(diǎn)包括

(1) *佳化鍍鍋與坩鍋設(shè)計(jì)因應(yīng) Lift-Off 與低溫製程需求

(2) Run to Run膜厚均勻性可控制至＜±3%，以確保整體產(chǎn)品良率

(3) *佳化蒸鍍腔及排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可有效降低Cycle time，並提昇材料利用率（提高20%）

(4) 高通用與拆換便利性設(shè)計(jì)(可提昇至200mm大尺寸、次微米、Lift-Off 製程能力)，製程應(yīng)用不受限

(5) 特殊設(shè)計(jì)的夾治具，針對(duì)薄片製程（微米），可靠度極佳

(6) *精簡地板空間，可有效提高無塵室使用空間

(7) 全自動(dòng)化、智慧型PC操控系統(tǒng)，提高全廠自動(dòng)化之需求。

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沉積室泵送系統(tǒng)和真空測(cè)量：

1臺(tái)CTI Torr-400，低溫泵（水為16000升/秒），16“ID ASA翻邊。

1臺(tái)CTI 9600，液氦低溫水冷壓縮機(jī)（10'He管線）

低溫泵自動(dòng)*生功能。

1 AST，高真空閥3位，帶可調(diào)節(jié)流閥位置（3個(gè)位置），ASA 16“-（19”x 15“）法蘭，氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)打開/關(guān)閉。

1臺(tái)Leybold WA251和D60C，1臺(tái)羅茨泵和1臺(tái)兩級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵（5000升/分鐘），ISO 63進(jìn)口法蘭。

1個(gè)粗加工閥，ISO 63，波紋管密封，通過氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)打開/關(guān)閉。

1個(gè)通風(fēng)閥，KF 25，波紋管密封隔離。

1個(gè)防湍流閥，直徑1/4“，用于延遲通風(fēng)。

1個(gè)前線閥，KF 40，波紋管密封，通過氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)打開/關(guān)閉。

壓縮空氣分配。

1 GP 307，真空計(jì)控制器。（atm~5.0E-10托）

1 GP 274，離子測(cè)量頭（1.0E-02托~ 1.0E-09托）。

2個(gè)GP 275，帶鎢絲的Pirani頭。（atm~5.0E-04托）

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基板臺(tái)配件：

基板載體旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器

1個(gè)適配器法蘭，ASA 10“直徑至5”直徑孔，用于PevaAST系統(tǒng)。

1個(gè)法蘭，ASA 3“直徑，用于連接層厚測(cè)量系統(tǒng)。

1個(gè)間接驅(qū)動(dòng)齒輪馬達(dá)通過高性能的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)鐵流體饋通。

單基板載體轉(zhuǎn)速05~20rpm。

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基底載體

1個(gè)帶形狀的升降式穹頂

預(yù)加工，可接受總共140件2“晶圓

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工藝源配件

Telemark，電子束蒸發(fā)器，10 kW 270型

偏轉(zhuǎn)270o的光源。

角齒輪傳動(dòng)基板通過坩堝指數(shù)。

水冷饋通。

X和Y掃描信號(hào)饋通。

旋轉(zhuǎn)坩堝，帶6個(gè)40毫升的凹槽。

坩堝控制裝置。

驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

遠(yuǎn)程控制：

高壓電源裝置10 kW，帶可變高壓和光束定位控制。

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快門驅(qū)動(dòng)：

氣動(dòng)百葉窗驅(qū)動(dòng)器90o（安裝在氣缸上的空氣流量控制）

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過程控制器/層厚測(cè)量：

Maxtek MDC-360C，層厚、速率和工藝

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控制單元：

帶有RS-232接口的過程控制。

9組材料參數(shù)的存儲(chǔ)空間，以及99個(gè)工藝序列和999個(gè)工藝步驟。

從材料和工藝參數(shù)開始的100個(gè)順序步驟的順序程序。

一個(gè)過程*多可重復(fù)99次。

帶6MHz振蕩器的石英傳感器。

帶冷卻水管和信號(hào)電纜。

主營行業(yè)：儀器儀表玻璃//光學(xué)玻璃儀器儀表玻璃//儀表玻璃 公司注冊(cè)地址：東莞市茶山鎮(zhèn)茶山村茶南路15號(hào) 法人代表：李由根
員工人數(shù)：50-100人 廠房面積：8000 年?duì)I業(yè)額：人民幣1000萬元/年-人民幣2000萬元/年
年進(jìn)口額：人民幣100萬元/年-人民幣200萬元/年 年出口額：人民幣100萬元/年-人民幣200萬元/年 主要市場(chǎng)：大陸,港澳臺(tái)地區(qū),全球,
客戶群：富士康 華維
公司名稱:東莞市宏誠光學(xué)制品有限公司
注冊(cè)資本:人民幣200萬元/年-人民幣500萬元/年 公司網(wǎng)址：http://hcgxcy.glass.com.cn

主營產(chǎn)品：二次元影像測(cè)量儀,工業(yè)變倍鏡頭,標(biāo)定板,分辨率板,校準(zhǔn)玻璃線紋尺,玻璃菲林尺子,面補(bǔ),分光鏡片,反光鏡,棱鏡,透鏡,平行平晶,平面平晶,光學(xué)玻璃工作臺(tái),投影屏,Z軸測(cè)試儀 公司成立年份：2010
公司網(wǎng)址：http://hcgxcy.glass.com.cn

產(chǎn)品屬性：
計(jì)量單位：臺(tái) 供貨總量：10 最小起訂量：1 產(chǎn)品單價(jià)：45000.00 品牌： 規(guī)格型號(hào)： 包裝說明：

光學(xué)透明材料具有質(zhì)量輕、耐沖擊強(qiáng)度高、易于加工成型等優(yōu)良特點(diǎn)，最常見的光學(xué)透明材料-有機(jī)玻璃(PMAA)是應(yīng)用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風(fēng)擋及座艙航空透明件，還包括各型復(fù)雜曲率的機(jī)身觀察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，航空器隱身技術(shù)的發(fā)展，以及未來電子電磁對(duì)抗，實(shí)現(xiàn)電磁屏蔽功能的需要，有機(jī)玻璃透明件作為機(jī)身的重要組成構(gòu)件之一，也必須實(shí)現(xiàn)隱身功能，以適應(yīng)未來的戰(zhàn)爭環(huán)境。因此，在有機(jī)光學(xué)材料特別是航空有機(jī)玻璃表面鍍制各類導(dǎo)電膜層，是實(shí)現(xiàn)航空透明件隱身的重要手段之一。長期以來，由于航空有機(jī)玻璃的耐溫點(diǎn)低，無法達(dá)到鍍制功能膜所需高溫，常規(guī)的真空磁控濺射工藝難以實(shí)現(xiàn)，加工制造難度非常大，所以有機(jī)玻璃表面導(dǎo)電功能膜系的制造必須采用特種工藝進(jìn)行鍍制。為解決這一關(guān)鍵技術(shù)障礙，經(jīng)過公司技術(shù)人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術(shù)，在高等級(jí)潔凈凈化室內(nèi)，成功的在低溫基片上制備出高質(zhì)量的各類導(dǎo)電膜系。各類導(dǎo)電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優(yōu)點(diǎn)。